CD-SEMの画像を利用して、種々のアルゴリズムでCD値を計算
- ソフト名 ：CD値計算プログラム
- バージョン ：3 release5
- ライセンス ：フリーソフト
- OS ：Windows
- 開発 ：(恒)
CD値計算プログラム詳細
SEMの画像からパターン幅を計算するプログラムです。CD-SEMに搭載されているアルゴリズムよりもノイズに強く、弱いフィルターでも動作します。同時に10種類のアルゴリズムで計算し、ノイズフィルターも選択できます。バッチ処理に対応し複数の画像を一度に処理できます。EdgeRoughnessの計算やアルゴリズムの安定性を比較する機能もあります。